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现代拉单晶的坩埚一般是采用电弧法生产,半透明状,是拉制大直径单晶硅,发展大规模集成电路必不可少的基础材料。现代的石英坩埚则存在二种结构,外侧是一层具有高气泡密度的区域,德州直筒炼锌坩埚,称为气泡复合层,直筒炼锌坩埚生产工艺,内侧则是一层3~5mm的透明层,称之为气泡空乏层。气泡复合层的目的是在与均匀的辐射有加热器所提供的辐射热源。气泡空乏层的目的在于降低与溶液接触区域的气泡密度,而改善单晶生长的成功率及晶棒品质。





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2.耐温性好,长期使用在1300℃,短期1550℃
3.耐急冷急热性好,不易炸裂
4.成型密度高不渗裂
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